(现货) EDWARDS 爱德华 EH500 罗茨真空泵

(现货)EDWARDS 爱德华EH500罗茨真空泵  



EDWARDS爱德华EH系列真空泵EH500

 概述:EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。

 此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

 应用半导体制程真空蒸馏真空包装钢脱气薄膜覆层真空冶金低密度风洞空间模拟真空浸渍油干燥和脱气制药冷冻干燥CO2 激光功能和优势适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:安静的无振动运行。牢靠且防腐蚀。先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。

 这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。


容积(工作容积)50Hz    505 m3h-1/300 ft3min-160Hz    

605 m3h-1/335 ft3min-1

使用后备泵时的有效抽取速度E1M40 或 E2M40  

350 m3h-1/206 ft3min-1E1M80 或 E2M80   400 m3h-1/236 ft3min-1E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1

泵的压差 ?50Hz  0-110 mbar/0-83 Torr60Hz    0-90 mbar/0-68 Torr

入口连接    ISO100出口连接    ISO63转速50Hz  

0-2900 rpm60Hz    0-3500 rpm

连续入口操作压力    0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力  1000 mbar/760 Torr

推荐的后备泵  GV80,E2M80电源供给50Hz    220-240V/380-415V60Hz    230V/460V马达功率碳氢化合物   2.2kW/3hpPFPE    2.2kW/3hpATEX    2.2kW防爆型 3hp

环境温度范围操作  5 至 40°C/40 至 104°F存储  -10 至 80°C/14 至 176°F

最大操作湿度  90% RH

推荐用油标准型 Ultragrade 20PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6

油容量联结器箱    1.5 升轴杆封口储油器 0.125 升重量* 106 kg/233 lb


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